参数 | |
仪器原理 | 放电+化学作用 |
工作电压(V) | ≤ 7000V |
氮气饱和抽速(L/s) | 25L/s |
开始启动真空度(mbar) | <1E-6mbar |
极限真空度(mbar) | <6E-11mbar |
漏率 | ≤ 1E-12 Pa m3/s |
使用寿命(h) | 50,000 |
磁场分布 | 均匀分布 |
漏磁(泵口上方100mm处) | ≤ 1Gs |
最高烘烤温度(℃) | <200 |
外形尺寸(mm) (L*W*H) | 168.4*121.2*181.5 |
重量(kg) | 11.5 |
抽速曲线(饱和氮气抽速)