工作压强范围广,适合超高真空获得。
无油或颗粒污染,保证真空环境洁净。
工作安静,完全无振动、无噪音。
自我保护,真空恶化时自动关闭电源。
采用自密封设计,即使停电也能保持真空。
低漏电流提供稳定的真空压力读数。
低磁场减少系统干扰。
安装方向自由。
结构简单、耐用,高可靠性和低维护。
参数 | |
仪器原理 | 放电+化学作用 |
工作电压(V) | ≤ 7000V |
氮气饱和抽速(L/s) | 75L/s |
开始启动真空度(mbar) | <1E-6mbar |
极限真空度(mbar) | <9E-11mbar |
漏率 | ≤ 1E-12 Pa m3/s |
使用寿命(h) | 50,000 |
磁场分布 | 均匀分布 |
漏磁(泵口上方100mm处) | ≤ 1Gs |
最高烘烤温度(℃) | <200 |
外形尺寸(mm) (L*W*H) | 260*151.6*381.5 |
重量(kg) | 25.6 |
* 测试标准:GBT 25755-2010